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高精度调芯系统

高精度电动调芯系统

时间:2014年02月20日 【字体:

高精度电动调芯系统

高精度电动调芯系统
WNES6700

型号

WNES3000A

WNES4000A

WNES5200

WNES6200

WNES6700

 

行程

xyz20mm

Θx:±3°

Θy: ±3°

Θz:

xyz20mm

Θx:±3°

Θy: ±3°

Θz: ±10°

x30mm

y20mm

z70mm

Θx16°

Θy: 16°

Θz:

x30mm

y20mm

z70mm

Θx16°

Θy: 16°

Θz: 16°

x50mm

y10mm

z50mm

Θx:±6°

Θy: ±8°

Θz: ±6°

分辨率

xyz0.05μm

Θx0.003°

Θy: 0.003°

Θz:

xyz0.05μm

Θx0.003°

Θy: 0.003°

Θz: 0.0045°

xyz0.05μm

Θx0.003°

Θy: 0.0032°

Θz:

xyz0.05μm

Θx0.003°

Θy: 0.0032°

Θz: 0.0032°

xyz0.05μm

Θx0.00125°

Θy: 0.0015°

Θz: 0.0016°

轴高

145mm

145mm

189mm

214mm

206mm

 

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